并行差动复色共焦纳米精度三维测量系统

发布者:王佳秀发布时间:2022-08-24浏览次数:356

针对非接触式三位形貌表面测量方法,难以兼顾横向和轴向高分辨率以及快速的问题。利用复色差动实现轴向高精度和快速成像,利用结构光照明显微成像方法配合图像处理算法,实现横向超衍射极限成像和快速测量。现已搭建三位快速测量的硬件平台,实现了纳米量级的高精度快速测量,为三维透明样本(如异形光学透镜等)的高精度测量奠定了基础。